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原帖由 potomac 于 2007-9-20 17:58 发表
那你告诉偶吧。:loveliness:
先是拉晶锭。一个大炉子煮纯净的硅,一根棒子从顶上伸下来,顶端是一小粒单晶硅,然后慢慢边转边拉,最后拉出一大陀。然后再切割成一片片的。
拉的时候线速度越低越稳定,当然晶格缺陷就越少。所以理论上说当然是中心缺陷少。----其实还有很多因素,例如杂质在拉单晶过程中总是向外移动的,所以硅片中心还最纯净。
现在单晶硅直径有300mm,即使转动很慢,最外部的线速度也相当大,缺陷完全是必然的。不过现在有一系列再处理的技术,可以使缺陷大幅度减少。
影响芯片质量的还有曝光过程。现在都是步进曝光,一片wafer上要曝光多次。镜头每次曝光都需要定位,不同曝光层要精确对准。这个时候以什么位置为中心开始曝光也对芯片质量有重大影响。如果以硅片中心开始曝光,当然也是中心部分质量最好。 |
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