|
随着处理器市场局势的明朗化,ibm与intel决定共同合作晶圆技术,摩尔定律也得以继续延续下去。
双方将共同开发嵌段共聚物蚀刻技术,为22nm以后的晶圆时代迎来希望的曙光:
高分子嵌段共聚物分子由于其结构独特,包含着热力学不相容的不同高分子嵌段,并由化学键相连.通过控制外界条件,嵌段共聚物可以自组装成高度规则的超分子结构.以嵌段共聚物膜自组装相分离图案为模板,或把这种图案复制到其它材料上,通过刻蚀等技术可以制备纳米结构模板,再经纳米铸造得到相应结构的纳米材料和纳米器件.
Several entities, including IBM Corp. and Intel Corp., are exploring a new technology called co-polymer lithography in an effort to extend Moore's Law.
http://www.eetimes.com/news/semi/showArticle.jhtml?articleID=210604208 |
|