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本帖最后由 PRAM 于 2010-11-17 20:53 编辑
10-10-5 22:12
相同的PMOS,NMOS性能下,EOT应该是越薄越好吧
10-10-10 16:16
不好意思现在才回复你,对于这个问题,我的想法仅供参考。EOT的scaling,主要是基于微缩化考虑,我觉得它和NMOS,PMOS没有直接的关系。
不知道对不对?
相同的PMOS,NMOS性能下,EOT应该是越薄越好吧 John86
更早 10-10-6 20:25
是的,这也就是为什么45nm及以下的process要放弃Silicon poly而选用Ni。
是的,这也就是为什么45nm及以下的process要放弃Silicon poly而选用Ni。
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