GF之后，台积电也宣布在2014年开始14nm制程，并准备在64位ARM V8处理器上实验16nm制程

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台积电(TSMC)在日前的年度大会中，宣布制订了20nm平面、16nm FinFET和2.5D发展蓝图。台积电也将使用ARM的第一款64位处理器V8来测试16nm FinFET制程，并可望在未来一年内推出首款测试芯片。 台积电与其合作伙伴们表示，用于20nm和16nm FinFET的双重图形技术对芯片设计人员带来了极大挑战。台积电的发展蓝图大致与竞争对手Globalfoundries类似，都希望能在明年启动20nm制程，2014开始14nm FinFET制程。