GF的28nm SHP是gate first还是gate last?

南京小钱

求证......

asdfjkl

gate first还是gate last是FinFet或者3D晶体管实现上的差别，当前的28nm SHP还是平面。
你这个问题感觉不合适。

九泉苍月

Gate first.   

28nm Technology Platform - GlobalFoundries
www.globalfoundries.com/.../28nm.aspx
This 28nm solution is a "Gate-First" approach that shares the process flow, design flexibility, design elements and ...

frankincense

asdfjkl 发表于 2014-1-15 13:07
gate first还是gate last是FinFet或者3D晶体管实现上的差别，当前的28nm SHP还是平面。
你这个问题感觉不合 ...

Gate First和Gate Last是HKMG实现上的差别，和FinFET没关系的
IBM为首（包括GF在内）都是Gate First的信徒，而Intel早在45nm HKMG引入时就使用Gate Last，TSMC则是部分Gate First部分Gate Last。
不过到了20nm时代所有Fab基本都会投靠Gate Last

南京小钱

谢谢3,4楼，另外很无奈地瞥一眼2楼...

围观

2楼以后遇到稍微专业点的问题还是歇着吧.

高级N黑.